第三百九十六章 投影曝光
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如果没有周硕的干扰，从0.35微米工艺向0.25微米工艺过渡的光刻机，真实历史上实际使用的是步进重复投影曝光技术。..xstxt..
在0.35微米工艺及之前，光刻机光学掩膜版的制作要求是非常高的。基本上和生产的芯片，是一对一全比例设计。
掩膜版投射的镜头需要与硅片进行完全的接触，接触中甚至要抽成真空状态。然后光源系统的激光打到掩膜版上，投影部分的光刻胶就会被蒸发掉。把这样的晶圆放到蚀刻机里面，化学药品就会将没有覆盖光刻胶的部分腐蚀掉，然后再把晶圆转移到离子注入机上进行离子注入……
把镜头和晶圆直接接触，或者两者之间只有小缝隙的接近，这种光刻机被称之为接触、接近式曝光技术。因为使用这种技术的光刻机镜头要和晶圆进行完全的接触，对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。
这种设计自有其好的一面，对镜头精度要求低，系统复杂度低，以及成像质量高之类的优点。但也有其致命的缺陷，0.35微米工艺基本上就是其经济性的极限了。
0.25微米工艺光刻机想要延续接触式曝光，整个系统需要的机械精密程度，掩膜版的成本、掩膜版和硅片的接触紧密度，系统的集成难度都开始了几何级数的增加。
于是在原本的历史上，尼康也好、阿斯麦也好都选择了另一条路，那就是非接触式曝光。也就是投影式曝光技术。
这种技术说白了，就是好像平常用放大镜聚集太阳光一样。用棱镜系统将光源从远处投射到硅片上。这样经过几次聚焦、折射、再聚焦，最终投影到硅片上的图形比掩膜版甚至可以小上4倍。
对于沉浸式光刻技术而言。投影式曝光技术最大的好处就是——避免了使用防水光刻胶的高成本。
其实说起来，周硕现在真的很想哈哈大笑一下，以发泄自己内心的畅快！
日本人费尽心思弄到了防水光刻胶的技术，原本他们这个技术至少是可以吃一代光刻机没问题的。历史上，早期沉浸式光刻机系统也是使用防水光刻胶的接近式光刻机，直到投影式光刻机成为主流防水光刻胶才退出了历史舞台。
他现在拿出来的这份文件，自然就是投影式光刻机的技术专利，可以说这项技术一出防水光刻胶就是一个废物了！
鹤田刚开始还不以为然，在他的心里早就已经认为泛翰集团是砧板上的鱼肉。哪里还有什么翻盘的机会？
这个年代里，日本人不仅是骄傲的，而且也非常有骄傲的资本。整个九十年代，世界十大晶圆厂，日本人占了半数还多！
在鹤田和所有日本人看来，中国人能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死耗子，反正搞举国体制不正是共产国际的强项嘛！
除了沉浸式光刻技术这种独辟蹊径的取巧之道，日本人绝不相信泛翰集团还能在其他方向产生突破，他们手里的底牌也就是仅此而已。
然而事实证明。中国人比他们想象的要强大的多。这对鹤田来说，不啻是一个巨大的嘲讽。
以技术先进为傲的尼康，竟然会屡屡失败在一个小小的中国企业面前！这tm的不科学啊！
鹤田的脸色随着他看完整个授权专利证书之后，就黑的好像一块锅底的黑炭了。任谁在看到自家花费巨资研发出来的技术。转眼就被人给淘汰掉了，心里肯定都会恨不得把对方给咬死。
可惜，鹤田注定是不敢咬死人的。
步进投影技术不仅能摆脱对防水光刻胶的依赖。更重要的是只要稍作优化，立刻就又能把光刻机制程技术向前推进一个时代……
你们要不要这么逆天？！
鹤田很想这么呐喊一声。如果让泛翰集团这么肆无忌惮的发展下去，说不定连摩尔定律都要被打破了。
从0.35微米工艺都没普及的程度。直接跳到0.18微米，可以想象这会在市场上掀起怎样的腥风血雨。
鹤田牙缝里再敢蹦个“不”字，尼康就要被管杀不管埋了。
“周桑……这个文件是真的？”鹤田张了张嘴，脑袋里一团乱麻，只能问出这么没有营养的问题了。
他对重复投影式曝光技术并不陌生，如果说沉浸式光刻技术是左道旁门，那投影式曝光就是名门正道！光刻机提升性能的主要方法，大多都是通过增加光学系统精度实现的——而重复投影曝光技术，可以说是将这种思路延续到了极致！
“呵呵，是不是真的，尼康可以自己求证一下。”周硕无所谓的耸了耸肩，轻松的笑道。
鹤田背靠在椅子上，心知这种事情是不可能作假的。只要他一个电话过去，用不了半个小时查询结果就能出来，耍这种花招毫无意义。
即使如此，他仍然吩咐手下让人去查询相关的专利情况。一纸证书能够体现的东西有限，专利注册的时候需要提供很多技术思路，说不定也会有所收获。不过那都是以后的事情了，现在周硕表现的来的实力，却不允许他再肆无忌惮的打压下去。
“好吧，周桑。”鹤田呼出一口气，这种胜利即将到手却被人绝地翻盘的感觉，实在是太伤士气了。他强打精神抬起头来，看向周硕说道：“既然情况出现了变化，尼康可以重新考虑原来的要求。违约金、退股和迁移生产线这些问题，咱们都可以好好谈一谈……”
“谈什么？”周硕抱着胸，笑吟吟的问道。
“呃，谈谈你手里的技术。”鹤田老脸一红，这样的转变未免太过生硬了一些，不过这时候却也顾不得了：“说实话为了实现利润最大化，现在就公布投影步进式光刻技术并不是一个好主意。要我说大可当做储备技术，等我们在沉浸式光刻机上面赚到满意之后，再放出这项技术来。”
“怎么，尼康现在不想把我扫地出门了？”周硕低头抠着手指甲，心不在焉的问道。
“哈哈，尼康怎么会有这种打算！”鹤田大笑了一声，掩饰他脸上的尴尬，晃着拨浪鼓似的脑袋说道：“泛翰集团是尼康最重要的合作伙伴，我们绝不会做出这种……嗯，卸磨杀驴的事情。”
他自认为用了一个中国成语还是很值得高兴的事情，自得的笑着笑着却再也笑不下去了，因为对面的周硕脸上始终都是冷冰冰的一片。
“鹤田桑敢做不敢认，这就太没有男子汉气概了。”周硕淡淡的说道：“既然尼康不想收购我手里的股份了，那咱们就谈谈你们手里那51%的股份吧。”
“纳尼？”鹤田坐直了身体，眼光猛的正经了起来：“周桑这话是什么意思，51%已经是尼康持股的底线了，这个条件是不容讨论的问题！”
“这么说吧——”周硕轻轻的吹了吹用指甲刀磨好的指甲，渐渐收敛起笑脸道：“破产和出售光刻机子公司，尼康选择哪个？”
“周桑这话是什么意思？”鹤田的脸上难得出现了一丝慌乱，强笑道：“你知不知道尼康是什么公司，岂是能说破产就破产的？”
周硕哦了一声，挑了挑眉说道：“那是我说错话了，尼康每月五个亿的违约金都能支付的起？”
“五个亿？”鹤田吓了一跳，惊恐的看着周硕，矢口否认道：“什么五个亿，我们尼康哪里需要支付五个亿的违约金？”
鹤田怎么会不知道周硕说的是什么，正是因为他知道，所以才心中惊恐万分。尼康和intel签署的合约不说是绝对机密，但也不是谁想知道都能知道的。虽然对这次合同提出了这么高的违约金感到奇怪，但因为彻底掌握了光刻机市场，尼康并没有太过在意。
一个月五亿美元的违约金确实是高，但intel也要有这个胆量来收。
在阿斯麦已经推出竞争的今天，整个光刻机高端市场都落入了尼康的手里，尼康光刻机就是皇帝的女儿——不愁嫁。在这种合作关系下，合同就是一张纸，intel又怎么敢真的去收尼康的违约金？
就好像移动吞了用户的月剩余流量，绝大多数移动网络用户都不会说这不合理，即使不合理也要有这个本钱去和垄断资本谈判啊！
intel如今是求着尼康供货，而不是尼康求着intel。这五个亿美元的违约金好拿不好用，除非intel以后再也不升级光刻机工艺水平，否则怎么敢这么得罪尼康？
“呵呵，看来鹤田桑真是贵人多忘事。”周硕不以为意的耸了耸肩，露出一口洁白的牙齿笑道：“您可以想想看，如果阿斯麦得到了重复投影曝光技术，intel是否还会这样有耐心的等待下去？”
周硕这话说完，突然对面噗通一声。鹤田在众目睽睽之下，竟然从凳子上滑了下去！
如果没有周硕的干扰，从0.35微米工艺向0.25微米工艺过渡的光刻机，真实历史上实际使用的是步进重复投影曝光技术。..xstxt..
在0.35微米工艺及之前，光刻机光学掩膜版的制作要求是非常高的。基本上和生产的芯片，是一对一全比例设计。
掩膜版投射的镜头需要与硅片进行完全的接触，接触中甚至要抽成真空状态。然后光源系统的激光打到掩膜版上，投影部分的光刻胶就会被蒸发掉。把这样的晶圆放到蚀刻机里面，化学药品就会将没有覆盖光刻胶的部分腐蚀掉，然后再把晶圆转移到离子注入机上进行离子注入……
把镜头和晶圆直接接触，或者两者之间只有小缝隙的接近，这种光刻机被称之为接触、接近式曝光技术。因为使用这种技术的光刻机镜头要和晶圆进行完全的接触，对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。
这种设计自有其好的一面，对镜头精度要求低，系统复杂度低，以及成像质量高之类的优点。但也有其致命的缺陷，0.35微米工艺基本上就是其经济性的极限了。
0.25微米工艺光刻机想要延续接触式曝光，整个系统需要的机械精密程度，掩膜版的成本、掩膜版和硅片的接触紧密度，系统的集成难度都开始了几何级数的增加。
于是在原本的历史上，尼康也好、阿斯麦也好都选择了另一条路，那就是非接触式曝光。也就是投影式曝光技术。
这种技术说白了，就是好像平常用放大镜聚集太阳光一样。用棱镜系统将光源从远处投射到硅片上。这样经过几次聚焦、折射、再聚焦，最终投影到硅片上的图形比掩膜版甚至可以小上4倍。
对于沉浸式光刻技术而言。投影式曝光技术最大的好处就是——避免了使用防水光刻胶的高成本。
其实说起来，周硕现在真的很想哈哈大笑一下，以发泄自己内心的畅快！
日本人费尽心思弄到了防水光刻胶的技术，原本他们这个技术至少是可以吃一代光刻机没问题的。历史上，早期沉浸式光刻机系统也是使用防水光刻胶的接近式光刻机，直到投影式光刻机成为主流防水光刻胶才退出了历史舞台。
他现在拿出来的这份文件，自然就是投影式光刻机的技术专利，可以说这项技术一出防水光刻胶就是一个废物了！
鹤田刚开始还不以为然，在他的心里早就已经认为泛翰集团是砧板上的鱼肉。哪里还有什么翻盘的机会？
这个年代里，日本人不仅是骄傲的，而且也非常有骄傲的资本。整个九十年代，世界十大晶圆厂，日本人占了半数还多！
在鹤田和所有日本人看来，中国人能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死耗子，反正搞举国体制不正是共产国际的强项嘛！
除了沉浸式光刻技术这种独辟蹊径的取巧之道，日本人绝不相信泛翰集团还能在其他方向产生突破，他们手里的底牌也就是仅此而已。
然而事实证明。中国人比他们想象的要强大的多。这对鹤田来说，不啻是一个巨大的嘲讽。
以技术先进为傲的尼康，竟然会屡屡失败在一个小小的中国企业面前！这tm的不科学啊！
鹤田的脸色随着他看完整个授权专利证书之后，就黑的好像一块锅底的黑炭了。任谁在看到自家花费巨资研发出来的技术。转眼就被人给淘汰掉了，心里肯定都会恨不得把对方给咬死。
可惜，鹤田注定是不敢咬死人的。
步进投影技术不仅能摆脱对防水光刻胶的依赖。更重要的是只要稍作优化，立刻就又能把光刻机制程技术向前推进一个时代……
你们要不要这么逆天？！
鹤田很想这么呐喊一声。如果让泛翰集团这么肆无忌惮的发展下去，说不定连摩尔定律都要被打破了。
从0.35微米工艺都没普及的程度。直接跳到0.18微米，可以想象这会在市场上掀起怎样的腥风血雨。
鹤田牙缝里再敢蹦个“不”字，尼康就要被管杀不管埋了。
“周桑……这个文件是真的？”鹤田张了张嘴，脑袋里一团乱麻，只能问出这么没有营养的问题了。
他对重复投影式曝光技术并不陌生，如果说沉浸式光刻技术是左道旁门，那投影式曝光就是名门正道！光刻机提升性能的主要方法，大多都是通过增加光学系统精度实现的——而重复投影曝光技术，可以说是将这种思路延续到了极致！
“呵呵，是不是真的，尼康可以自己求证一下。”周硕无所谓的耸了耸肩，轻松的笑道。
鹤田背靠在椅子上，心知这种事情是不可能作假的。只要他一个电话过去，用不了半个小时查询结果就能出来，耍这种花招毫无意义。
即使如此，他仍然吩咐手下让人去查询相关的专利情况。一纸证书能够体现的东西有限，专利注册的时候需要提供很多技术思路，说不定也会有所收获。不过那都是以后的事情了，现在周硕表现的来的实力，却不允许他再肆无忌惮的打压下去。
“好吧，周桑。”鹤田呼出一口气，这种胜利即将到手却被人绝地翻盘的感觉，实在是太伤士气了。他强打精神抬起头来，看向周硕说道：“既然情况出现了变化，尼康可以重新考虑原来的要求。违约金、退股和迁移生产线这些问题，咱们都可以好好谈一谈……”
“谈什么？”周硕抱着胸，笑吟吟的问道。
“呃，谈谈你手里的技术。”鹤田老脸一红，这样的转变未免太过生硬了一些，不过这时候却也顾不得了：“说实话为了实现利润最大化，现在就公布投影步进式光刻技术并不是一个好主意。要我说大可当做储备技术，等我们在沉浸式光刻机上面赚到满意之后，再放出这项技术来。”
“怎么，尼康现在不想把我扫地出门了？”周硕低头抠着手指甲，心不在焉的问道。
“哈哈，尼康怎么会有这种打算！”鹤田大笑了一声，掩饰他脸上的尴尬，晃着拨浪鼓似的脑袋说道：“泛翰集团是尼康最重要的合作伙伴，我们绝不会做出这种……嗯，卸磨杀驴的事情。”
他自认为用了一个中国成语还是很值得高兴的事情，自得的笑着笑着却再也笑不下去了，因为对面的周硕脸上始终都是冷冰冰的一片。
“鹤田桑敢做不敢认，这就太没有男子汉气概了。”周硕淡淡的说道：“既然尼康不想收购我手里的股份了，那咱们就谈谈你们手里那51%的股份吧。”
“纳尼？”鹤田坐直了身体，眼光猛的正经了起来：“周桑这话是什么意思，51%已经是尼康持股的底线了，这个条件是不容讨论的问题！”
“这么说吧——”周硕轻轻的吹了吹用指甲刀磨好的指甲，渐渐收敛起笑脸道：“破产和出售光刻机子公司，尼康选择哪个？”
“周桑这话是什么意思？”鹤田的脸上难得出现了一丝慌乱，强笑道：“你知不知道尼康是什么公司，岂是能说破产就破产的？”
周硕哦了一声，挑了挑眉说道：“那是我说错话了，尼康每月五个亿的违约金都能支付的起？”
“五个亿？”鹤田吓了一跳，惊恐的看着周硕，矢口否认道：“什么五个亿，我们尼康哪里需要支付五个亿的违约金？”
鹤田怎么会不知道周硕说的是什么，正是因为他知道，所以才心中惊恐万分。尼康和intel签署的合约不说是绝对机密，但也不是谁想知道都能知道的。虽然对这次合同提出了这么高的违约金感到奇怪，但因为彻底掌握了光刻机市场，尼康并没有太过在意。
一个月五亿美元的违约金确实是高，但intel也要有这个胆量来收。
在阿斯麦已经推出竞争的今天，整个光刻机高端市场都落入了尼康的手里，尼康光刻机就是皇帝的女儿——不愁嫁。在这种合作关系下，合同就是一张纸，intel又怎么敢真的去收尼康的违约金？
就好像移动吞了用户的月剩余流量，绝大多数移动网络用户都不会说这不合理，即使不合理也要有这个本钱去和垄断资本谈判啊！
intel如今是求着尼康供货，而不是尼康求着intel。这五个亿美元的违约金好拿不好用，除非intel以后再也不升级光刻机工艺水平，否则怎么敢这么得罪尼康？
“呵呵，看来鹤田桑真是贵人多忘事。”周硕不以为意的耸了耸肩，露出一口洁白的牙齿笑道：“您可以想想看，如果阿斯麦得到了重复投影曝光技术，intel是否还会这样有耐心的等待下去？”
周硕这话说完，突然对面噗通一声。鹤田在众目睽睽之下，竟然从凳子上滑了下去！